山西渗碳炉是现代大规模集成电路生产工艺过程中的关键装备。专业渗碳炉主要用于离子注入后杂质的激活、浅结制作、生长高质量的氧化膜层和金属硅化物合金形成等工艺。随着集成电路工艺技术的飞速发展,对国内开发和研究具有自主知识产权的快速退火炉装备,有着重要的理论意义和工程应用价值。公司针对现代半导体器件退火工艺对快速退火炉系统的技术要求,在综合分析国内外各种快速退火沪系统技术基础上,通过深入的分析研究,设计了系统总体技术方案。拟定采用灯光辐射型热源装置,上下两排成正交的灯管组对位于其中间的半导体硅片进行直接加热实现温度的快速上升,以单点测温作为温度测量的解决方案作为系统总体方案.根据热传导基本理论,以实现系统总体技术指标作为己知参数计算得到系统所需要的热功率。
山西渗碳炉为了提高效率并有效降低成本,采用剃齿工艺,工艺路线为:齿坯加工——滚齿——热处理——硬车内孔和端面——成品,即在热处理后不对齿轮进行精加工,关键尺寸、齿轮精度都在热处理过程中保证,渗碳炉厂家指出通过分析,该齿轮主要的制造难度在内孔和B端面的热处理畸变,以往的生产过程记录显示B端面的平面度在0.08-0.25mm之间,因齿轮内孔和端面是检验和安装基准,内孔和端面的超差直接安装后差速器异响的问题较突出。因此,控制内孔的热处理畸变及端面的平面度是剃齿工艺成功的关键。1.对于不能成批定型生产的,工件大小不相等的,种类较多的,多用炉厂家要求工艺上具有通用性、多用性的,可选用箱式多用炉。2.加热长轴类及长的丝杆,管子等工件时,可选用深井式电炉。
山西渗碳炉包括炉体,所述炉体包括承压罐体、加热元件、位于所述承压罐体内的加热渗氮室、以及位于所述承压罐体外侧的冷却系统;所述承压罐体的内壁上设置有耐火保温层,所述加热渗氮室的壁为所述耐火保温层,所述加热元件安装在所述耐火保温层上。在现有技术中,为了提高金属工件表面层的硬度、耐磨性及抗腐蚀性等性能,人们采用渗氮的化学热处理工艺向钢的表面层渗入氮原子。专业渗碳炉具体工艺如下:把金属工件放入密封的耐热钢罐中,通入流动的氮气或氨气等,加热,保温较长的一段时间后,氮气或氨气热分解产生活性氮原子,不断吸附到金属工件表面,并扩散渗入金属工件表层内,从而改变表层的化学成分和组织,获得优良的表面性能。
山西渗碳炉可以在520度的高温下正常工作,专业渗碳炉为真空密封的不锈钢罐,有高硬度,高耐磨性,氮化炉的主要特点是:1,氮化炉处理时间短,工件变形小。2,氮化炉不受材质的影响,可以处理不锈钢、铸铁及铁基粉未冶金材料、碳钢、低合金钢、工模具钢。3,氮化炉防摩擦,防腐蚀。4,氮化炉有一定的仍性,不容易剥落。为了缩短氮化周期,并使氮化工艺不受钢种的限制,在近年间在氮化炉工艺基础上发展了软氮化和离子氮化两种新氮化工艺。氮化炉处理结果与一般气体氮化相比,渗层硬度较氮化低,脆性较小。公司的主要产品箱式多用炉生产线,井式炉生产线,单、双推盘炉生产线,辊棒炉生产线,网带炉生产线等。
大型井式气体氮化炉,山西渗碳炉全称RNJ系列井式气体氮化炉属节能型气体氮化炉,采用真空橡胶密封,井式气体氮化炉保温性,炉温均匀性,密封性好。专业渗碳炉的外壳由钢板及型钢焊接而成,炉衬由超轻质,高强度节能耐火砖砌成, 炉衬用硅酸铝纤维保温。 氮化炉加热元件由高温电阻丝绕成螺旋状,安装在炉衬的搁砖上,在氮化炉炉膛中安有不锈钢炉罐。炉盖上安装有双头不锈钢滴注器供滴注液体。氮化炉炉盖上装有取样管、排气管、点火管,炉罐上部设有输入管可供氨气输入。井式气体氮化炉属周期作业工业炉。氮化炉主要供各种钢制机械零件、汽车曲轴、汽车活塞环、摩托车刹车片、模具等进行气体氮化热处理之用。
山西渗碳炉使用安全操作步骤1.渗氮前的气体氮化炉必须是先经过正火或调质处理过的工件。2.先用汽油和酒精擦洗气体氮化炉工件表面,不得有锈斑、油污、脏物存在。3.装入炉内后,对称拧紧炉盖压紧螺栓。4.将炉罐和炉盖进水口通入冷却水进行循环水冷。气体氮化炉炉盖上管道冷却水下端为进水,上端为出水,炉罐单独进水,单独排水,专业渗碳炉炉盖所有水管可按低进高出原则串联,由一个口进水,一个口排水。5.气体氮化炉升温前应先送氮气排气,排气时流量应比使用时大一倍以上。排气10分钟后,将控温仪表设定到150℃,自动加热开关拨向开,气体氮化炉边排气边加热150℃保持2h排气,再将控温仪表设定到530℃,把氨气流量调小,保持炉内正压。