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重庆专业气体发生器生产

2020-01-28
重庆专业气体发生器生产

重庆气体发生器是现代大规模集成电路生产工艺过程中的关键装备。专业气体发生器主要用于离子注入后杂质的激活、浅结制作、生长高质量的氧化膜层和金属硅化物合金形成等工艺。随着集成电路工艺技术的飞速发展,对国内开发和研究具有自主知识产权的快速退火炉装备,有着重要的理论意义和工程应用价值。公司针对现代半导体器件退火工艺对快速退火炉系统的技术要求,在综合分析国内外各种快速退火沪系统技术基础上,通过深入的分析研究,设计了系统总体技术方案。拟定采用灯光辐射型热源装置,上下两排成正交的灯管组对位于其中间的半导体硅片进行直接加热实现温度的快速上升,以单点测温作为温度测量的解决方案作为系统总体方案.根据热传导基本理论,以实现系统总体技术指标作为己知参数计算得到系统所需要的热功率。

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重庆气体发生器用途:各种金属机件和材料的回火、淬火、预热等热处理。专业气体发生器特点:1、电炉设有热风循环装置使炉温均匀,工件受热均匀;2、电炉装载量大、生产率高,适用于各种类型的 机件回火、淬火、预热用;3、电炉炉衬采用全纤维结构,提高炉体保温性能,节约能源,降低生产成本;4、电 炉装御料方便,操作条件好;5、炉门为前后双开式,2只装料台车轮流工作,节约能量并提高效率,操作方便; 6、电炉设有连锁保护装置,可防止因误操作而发生的故障及事故;7、无污染,环保效益好。

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智能控制技术特别适合于退火炉这样具有非线性、时变的控制系统。随着智能技术的不断发展,越来越多的智能技术融入到控制理论中,如专家系统控制、模糊控制、神经网络控制、遗传算法、人工免疫等控制算法。气体发生器生产指出这些控制方法在退火炉等工业炉窑控制中也逐步得到了应用。退火炉主要部件为加热部件和冷却部件,期望能实现比较均衡稳定的温度控制。国内外很多学者在温度控制方面进行了大量的研究,在控制方法和控制手段上的研究成果直接推动着退火炉控制的研制工作。对罩式光亮退火炉控制系统进行了分析研究,使用PID算法进行编程,重庆气体发生器采用可编程控制器在该炉电气控制系统中进行了实际应用,取得了较好的生产效益。

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怎样确定箱式多用炉烧碳黑?气体发生器生产介绍当炉内有大量碳黑沉积时,会破坏炉内的渗碳反应过程,影响碳势控制稳定性,影响加热元件的热传递,降低炉内构件的使用寿命。炉内出现较多积碳时应及时烧掉,建议三周左右烧一次碳黑,如果积碳黑速度较快,应适当缩短烧碳黑的周期。专业气体发生器 烧碳黑过程: 1.将炉温降到820~850℃; 2.当炉温稳定后,打开前门,随后关闭前门火帘点火烧嘴截止阀,火帘自动熄灭; 3.关闭碳势控制,关闭甲醇、丙酮截止阀,关闭氮气截止阀,停止后室供气;4.中门打开50~100mm,保持约2小时,开始烧碳黑,烧碳黑过程中注意炉温的变化。如果炉温上升较快或较多,将中门关闭待炉温下降后再次打开中门;(烧碳黑时也可以不打开中门,停止后室供气保持4~6小时具有相同效果) 5.烧碳黑完成后,关闭中门。

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