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山西推荐正火炉哪家好

2020-05-12
山西推荐正火炉哪家好

山西正火炉具有处理温度低,时间短,工件变形小的特点,推荐正火炉性质:高疲劳极限和良好的耐磨性。1.渗氮前的气体氮化炉必须是先经过正火或调质处理过的工件。2.先用汽油和酒精擦洗气体氮化炉工件表面,不得有锈斑、油污、脏物存在。3.装入炉内后,对称拧紧炉盖压紧螺栓。4.将炉罐和炉盖进水口通入冷却水进行循环水冷。气体氮化炉炉盖上管道冷却水下端为进水,上端为出水,炉罐单独进水,单独排水,气体氮化炉炉盖所有水管可按低进高出原则串联。5.气体氮化炉升温前应先送氮气排气,排气时流量应比使用时大一倍以上。排气10分钟后,将控温仪表设定到150℃,自动加热开关拨向开,气体氮化炉边排气边加热150℃保持2h排气,再将控温仪表设定到530℃,把氨气流量调小,保持炉内正压。

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山西正火炉使用安全操作步骤1.渗氮前的气体氮化炉必须是先经过正火或调质处理过的工件。2.先用汽油和酒精擦洗气体氮化炉工件表面,不得有锈斑、油污、脏物存在。3.装入炉内后,对称拧紧炉盖压紧螺栓。4.将炉罐和炉盖进水口通入冷却水进行循环水冷。气体氮化炉炉盖上管道冷却水下端为进水,上端为出水,炉罐单独进水,单独排水,推荐正火炉炉盖所有水管可按低进高出原则串联,由一个口进水,一个口排水。5.气体氮化炉升温前应先送氮气排气,排气时流量应比使用时大一倍以上。排气10分钟后,将控温仪表设定到150℃,自动加热开关拨向开,气体氮化炉边排气边加热150℃保持2h排气,再将控温仪表设定到530℃,把氨气流量调小,保持炉内正压。

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山西正火炉是现代大规模集成电路生产工艺过程中的关键装备。推荐正火炉主要用于离子注入后杂质的激活、浅结制作、生长高质量的氧化膜层和金属硅化物合金形成等工艺。随着集成电路工艺技术的飞速发展,对国内开发和研究具有自主知识产权的快速退火炉装备,有着重要的理论意义和工程应用价值。公司针对现代半导体器件退火工艺对快速退火炉系统的技术要求,在综合分析国内外各种快速退火沪系统技术基础上,通过深入的分析研究,设计了系统总体技术方案。拟定采用灯光辐射型热源装置,上下两排成正交的灯管组对位于其中间的半导体硅片进行直接加热实现温度的快速上升,以单点测温作为温度测量的解决方案作为系统总体方案.根据热传导基本理论,以实现系统总体技术指标作为己知参数计算得到系统所需要的热功率。

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