上海专业推盘炉生产

上海推盘炉是现代大规模集成电路生产工艺过程中的关键装备。专业推盘炉主要用于离子注入后杂质的激活、浅结制作、生长高质量的氧化膜层和金属硅化物合金形成等工艺。随着集成电路工艺技术的飞速发展，对国内开发和研究具有自主知识产权的快速退火炉装备，有着重要的理论意义和工程应用价值。公司针对现代半导体器件退火工艺对快速退火炉系统的技术要求，在综合分析国内外各种快速退火沪系统技术基础上，通过深入的分析研究，设计了系统总体技术方案。拟定采用灯光辐射型热源装置，上下两排成正交的灯管组对位于其中间的半导体硅片进行直接加热实现温度的快速上升，以单点测温作为温度测量的解决方案作为系统总体方案.根据热传导基本理论，以实现系统总体技术指标作为己知参数计算得到系统所需要的热功率。

上海推盘炉安装的安装方法，1.炉子平台钢结构安装。综合国内外的施工方法，根据现场安装的实践经验，我们将其总结为地面分段拼装成的“井”字型框架，然后进行“井”字型框架吊装就位的安装方法。专业推盘炉钢结构的安装分下、中、上二大段进行施工。下段的安装是整个钢结构的基础，安装精度必须严加控制。中间段的安装主要控制钢结构的垂直度要求，以保证上段结构及设备正确的受力传递。上段钢结构的安装也是主要控制钢结构的垂直度要求，以保证节点位置受力的正确性。钢平台框架的安装除了在地面组装成“井”框架外，还应安装这一段钢结构上的行走平台。每两段框架间的行走平台结构的安装就需要单片吊装到框架间进行。

上海推盘炉炉辊的安装是什么样子的呢？专业推盘炉下面为大家详细介绍。炉辊的安装分上、下炉辊两个部分，下部炉辊用专用吊具吊入后放到升降台车上，然后进行两端零部件的组装。上部炉辊用专用吊具吊入后则应用手拉葫芦将其吊住，然后进行两端零部件的组装。上部炉辊安装要考虑炉壳的受热膨胀，炉辊安装时要注意轴承的间隙调整。以装入时测的轴承原始状态的间隙为初始值，然后将轴承锁紧帽扮紧，测得最小值后再松开轴承锁紧帽，调整测量轴承间隙达到设计要求的数值为止，然后进行其他部件的安装工作。炉子内衬板的安装。炉子内衬板的安装是换代炉子的一个显著特点，它是以炉内新型的保温材料代替了旧的保温材料，外面再用不锈钢内衬板封住保温材料的结构方式。

上海推盘炉为了提高效率并有效降低成本，采用剃齿工艺，工艺路线为：齿坯加工——滚齿——热处理——硬车内孔和端面——成品，即在热处理后不对齿轮进行精加工，关键尺寸、齿轮精度都在热处理过程中保证，推盘炉生产指出通过分析，该齿轮主要的制造难度在内孔和B端面的热处理畸变，以往的生产过程记录显示B端面的平面度在0.08-0.25mm之间，因齿轮内孔和端面是检验和安装基准，内孔和端面的超差直接安装后差速器异响的问题较突出。因此，控制内孔的热处理畸变及端面的平面度是剃齿工艺成功的关键。1．对于不能成批定型生产的，工件大小不相等的，种类较多的，多用炉厂家要求工艺上具有通用性、多用性的，可选用箱式多用炉。2．加热长轴类及长的丝杆，管子等工件时，可选用深井式电炉。